样品台

1. 样品台尺寸：φ160mm

2. 最大工件尺寸：φ200mm

3. 最大工件厚度：52mm

4. 最大工件重量：2kg

5. 倾斜调整范围：±2°(±5mm/160mm)

6. 样品台材质：黑色硬质铝

7. 手动旋转：360°(手动粗调)、±5°(微调，最小约0.5°)

传感器

1. Z方向测定范围：Max. 600µm

2. Z方向最小分辨率：0.025nm (2,000,000放大倍率时)

3. 测定力： 10uN ~500uN

4. 触针半径：2 µm 60° 钻石针头 （另有多种可选）

5. 驱动方式：直动式

6. 再现性：1σ= 0.2nm (1um以下台阶时)

X 轴

1. 移动量(最大测长)：100mm (±50mm)

2. 真直度：0.2µm/100mm(全量程)，5nm/5mm (局部)

3. 移动,测定速度：0.005~20mm/s

4. 线性尺(linar scale)：X方向分辨率 0.1µm

5. 位置重复误差：±5um

Z轴

1. 移动量：54mm

2. 移动速度：max.2.0mm/S

3. 检出器自动停止机能

Y轴

1. 移动量：25mm（±12.5mm）

工件观察

1. 彩色1/3”CCD，x4物镜倍率

2. 综合倍率：约320倍 (使用19” monitor时)

3. 视野：1.2*0.9mm

4. 观察方向：右侧斜视

5. 照明：白色LED（可使用软件调整明暗度）

软件功能

1. 型号：i-STAR31

2. 可设定测量条件菜单、重复测量设定、解析菜单

3. 可设定下针座标，实现定位后自动测量及解析功能

4. 可设定低通滤波，过滤噪音及杂讯

5. 具有返回测量启始点功能

6. 显示倍率：垂直方向50~2,000,000倍、纵方向1~10,000倍

7. 解析功能：主要图型、段差解析、粗糙度解析、内应力分析、内建多种段差解析菜单可选

床台

一体花岗岩

防振台

落地型或桌上型

电源

AC220V±10%，50/60HZ，300VA

本体外观尺寸及重量

W500×D440×H610mm, 120kg，一体花岗岩低重心结构(不含防震台)