薄膜测量仪器-钙钛矿实验室产品-武汉爱疆科技有限公司

1：TDM 薄膜测量仪器可应用于薄膜沉积/生长领域:

2：可应用于化合物半导体、硅半导体和光伏薄膜的生产与研发:

3：可实现多个膜系结构的膜厚测量，包括但不限于以下并且测试结果与椭偏仪存在线性关系;

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一、产品介绍

TDM 薄膜测量仪器可应用于薄膜沉积/生长领域。TDM 产品主要利用白光（激光可选）光源探头，检测控制薄膜制备工艺过程中的重要参数，如薄膜厚度、翘曲度、反射率、表面粗糙度等材料特性。

可应用于化合物半导体、硅半导体和光伏薄膜的生产与研发。例如目前广泛应用在钙钛矿太阳能薄膜电池制备过程中相关薄膜（例如 FTO,ITO,NiOx，C60，perovskite 等）膜厚、反射率、透射率、钙钛矿材料 nk、带隙、PL 测量。

功能说明：可实现多个膜系结构的膜厚测量，包括但不限于以下并且测试结果与椭偏仪存在线性关系;

（1）Glass/FTO;

（2）Glass/FTO/NiOx;

（3）Glass/FTO/NiOx/PVK;

（4）Glass/FTO/NiOx/PVK/C60;

（5）Glass/FTO/NiOx/PVK/C60/SnO;

（6）Glass/FTO/NiOx/SAM;