1:绒面金字塔测量:设备具备金字塔表面二维、三维结构测量、单个金字塔的高宽测量 、金字塔的计数功能,可自动统计出单位面积内的晶粒数量, 并在视图上以十字符号标记出晶粒位置,不同规格金字塔的数量分布图。
2:栅线高宽度测量:单视场内的剖面线数量可调节为不低于十数条, 高度和宽度数据自动计算, 且自动计算出高宽比;同时提供高宽比的终端用户输入标称值功能, 并可根据标称值自动进行 OK/NG 的判定;
3:栅线自动测量:具备多条栅线的自动搜索测量功能,能够根据不同规格的基板来生成测量模板并完成自动测量;
4:真彩图像功能:可扫描出表面的真彩图像,以便进行污染区分;
共聚焦显微镜是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器 。它是以共聚焦技术为原理、结合精密 Z 向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面 3D 图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的 2D、3D 参数,从而实现器件表面形貌 3D 测量的光学检测仪器。
设备名称 | 共聚焦显微镜 |
光源 | 白光LED |
显微物镜 | 10 × , 20 × , 50 ×( APO), 100 ×( APO) |
视场范围 | 2.4 ×2.4 mm~120 × 120 μm |
物镜塔台 | 5 孔, 电动 |
XY位移平台真空吸盘 | 156/210mm 方形区域, 可切换 |
XY位移平台行程 | 220 ×220mm |
尺寸 | 720 ×580 × 1500mm |
重量 | 400kg |
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