全光谱椭偏仪-钙钛矿实验室产品-武汉爱疆科技有限公司

1：光谱范围：280-1000nm，单点测量时间：≤10s

2：光源：氙灯光源

3：供电电源电压：220VAC，正常频率范围：49-51Hz

4：使用温度范围：20 ~ 26 ℃、相对湿度：35% ~ 60% RH

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一、产品介绍

TAP-101光谱椭偏仪是光伏专用光谱椭偏仪器，系统基于双旋转补偿器调制技术一次性获取 Psi/Delta 、N/C/S 等光谱，可实现光伏硅基底（光片/金字塔制绒面）上单层到多层薄膜的膜厚、光学常数的快速分析表征。

设备名称	光谱椭偏仪-TAP-101
椭偏仪测头规格	1) 光谱范围：280-1000nm 2) 入射角：65。 3) 光斑大小：200 μm 4) 膜厚重复性测量精度：0.01nm（100nm 硅基 SiO2 薄膜；） 5) 膜厚测量范围：0.5nm-10μm 6) 单点测量时间：≤10s 7) 光源：氙灯光源（工作寿命：2,000h）
样品台规格	1) 基板尺寸：最大支持样件尺寸到 210*210mm 方片（向下兼容） 2) Z 轴位移行程：0-10mm 3) 光片 Z 轴手动对焦，绒面 Y 轴手动对焦
环境要求	1) 椭偏仪承载台：尺寸>1.5m（长） × 1.0 m（宽），承载能力大于 50Kg（建议光学隔振） 2) 使用温度范围：20 ~ 26 ℃ 3) 相对湿度：35% ~ 60% RH 4) 空气压力范围：750~1014 mbar 5) 洁净度： Class 10000
能源要求	1) 供电电源电压：220VAC 2) 正常频率范围：49-51Hz 3) 相电流：有效值小于 3A（220VAC） 4) 功率：小于 600W（不含电脑等附件）