PMST功率器件静态参数测试系统-半导体检测产品-武汉爱疆科技有限公司

PMST功率器件静态参数测试系统

1：高电压、大电流：具有高电压测量/输出能力，电压高达3500V（最大可扩展至10kV）；具有大电流测量/输出能力，电流高达6000A（多模块并联）

2：高精度测量: nA级漏电流，μΩ级导通电阻; 0.1％精度测量; 四线制测试

3：模块化配置: 可根据实际测试需要灵活配置多种测量单元; 系统预留升级空间，后期可添加或升级测量单元

4：测试效率高: 内置专用开关矩阵，根据测试项目自动切换电路与测量单元; 支持国标全指标的一键测试

5：软件功能丰富: 上位机自带器件标准参数测试项目模板，可直接调取使用; 支持曲线绘制; 自动保存测试数据，并支持EXCEL格式导出; 开放的标准SCPI指令集，可与第三方系统集成

6：扩展性好: 支持常温及低温、高温测试; 可灵活定制各种夹具; 可与探针台，温箱等第三方设备联动使用

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一、产品介绍

PMST功率器件静态参数测试系统主要由测试仪表、上位机软件、电脑、矩阵开关、夹具、高压及大电流信号线等构成。整套系统采用公司自主开发的静态测试主机，内置多种电压、电流等级的测量单元。PMST功率器件静态参数测试系统主机内部采用的电压、电流测量单元均采用多量程设计，测试精度为0.1%。其中，栅极-发射极最大支持30V@10A脉冲电流输出与测试，可测试低至pA级漏电流；集电极-发射极，最大支持6000A高速脉冲电流，典型上升时间为15μs，且具备电压高速同步采样功能；最高支持3500V电压输出，且自带漏电流测量功能。电容特性测试包括输入电容、输出电容、以及反向传输电容测试，频率最高支持1MHz，可按需选择模块配置。

二、参数介绍

项目		参数
高压测试单元	准确度	±0.1%
	最大电压	3500V,可升级扩展至10kV
	大电压上升典型时间	<5ms
	漏电流测试范围	1nA~100mA
大电流测试单元	准确度	±0.1%
	最大电流	1000A，可并联扩展至6000A
	大电流上升典型时间	<15μs
	大电流脉宽	50μs~500μs
低压测试单元	准确度	±0.1%
	最大电压	300V
	最大电流	1A（直流）/10A（脉冲）
	最小电压量程	300mV
	最小测试漏电流	10pA
	最小脉冲宽度	200μs
电容测试单元	基本测试准确度	±0.5%
	频率范围	10Hz~1MHz
	电容值范围	0.01pF-9.9999F

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