1:全自动多点扫描:多种预设方案供选择,也可以自定义测试方案;
2:手动任意点测量:只需提供坐标,一键测量;
3:精密探针头:镶嵌红宝石轴套的探针头,保证测量的机械精度、稳定性和寿命;
4:超宽测量范围:1 μΩ~100 M Ω;
5:最大样品尺寸:最大样品尺寸230 mm*230 mm*10 mm ;
6:测量速度:~2 秒/点;
7:测量精度: 0.1%(标准电阻片,带第三方检测认证);
8:数据可视化:彩色编码图;
9:数据自动存储:存储为EXCEL 格式,便于后期数据分析。
扫描四探针方阻仪是专为科学研究设计的,可以对最大230mm 样品进行快速、自动的扫描,获得样品不同位置的方阻/电阻率分布信息。探针头借鉴了机械钟表机芯制造工艺,使用红宝石轴承引导碳化钨探针, 确保高机械精度和长使用寿命,标准电阻片测试重复性可达0.2%,为行业优先水平。1 μΩ~100 MΩ的超宽测量范围可涵盖绝大部分应用场景,可广泛适用于光伏、半导体、合金、陶瓷等诸多领域。
项目 | 参数 |
超宽测量范围 | 1 μΩ~100 M Ω |
最大样品尺寸 | 230 mm*230 mm*10 mm |
测量速度 | 0.1%(标准电阻片,带第三方检测认证) |
测量精度 | 0.1%(标准电阻片,带第三方检测认证) |
重复性 | 在测量标准电阻片时,测量重复性为<0.2%(重复性的计算公式为:同一点量测10 次的数据里,标准偏差/平均值); 在测量太阳能电池片(如硼扩/Poly退火后硅片)的扩散层时保证的极差值≤2%(极差值计算公式通常为:同一点量测10 次的数据中,最大值-最小值/最大值+最小值)。 |
定位精度 | 定位精度:40 μm 重复定位精度: 5 μm 位移分辨率: 1 μm |
探针间距 | 1.00 mm |
探针材料 | 碳化钨 |
探针压力(可选) | 3~5 N(薄膜),5~7 N(薄片) |
机械游移 | < 0.3% |
宝石轴承内孔与探针间距 | < 6 μm |
外观尺寸(长*宽*高) | 主机: 355 mm * 385 mm * 255 mm 欧姆表:295 mm * 215 mm * 80 mm(长*宽*高) |
在线
咨询
关注